شرکت جیانگسو پاسیفیک کوارتز (Jiangsu Pacific Quartz)، تولیدکننده کوارتز با خلوص بالا (HPQ) از چین، در حال حاضر مواد HPQ خود را به تولیدکنندگان پیشرو داخلی و خارجی ابزارهای تراشهسازی، از جمله لم ریسرچ (Lam Research) و توکیو الکترون (Tokyo Electron) عرضه میکند. اخیراً نیز مواد و قطعات این شرکت موفق به گذراندن گواهینامه توسط یک سازنده داخلی حافظه DRAM شدهاند. تحلیلگر تیپی هوانگ (TP Huang)، مجری پادکست «چین تک تاک» (China Tech Talk)، معتقد است که این سازنده DRAM همان شرکت CXMT است.
در حالی که دستاوردهای پاسیفیک کوارتز (Pacific Quartz) قابل توجه است، قطعات این شرکت پس از ساخت ویفر سیلیکونی در تجهیزات تولید نیمههادی استفاده میشوند. در همین حال، شمشهای ویفرهای نیمههادی در بوتههای ساخته شده از کوارتز ذوبشده با خلوص بالا، معمولاً بیش از 99.999٪ SiO₂ (5N+) و با محدودیتهای بسیار سختتر روی آلایندههای بحرانی فردی، رشد داده میشوند. در حال حاضر، چنین کوارتز ویژهای تنها از طریق شرکتهای سیبلکو (Sibelco) و دی کوارتز کورپ (The Quartz Corp.) که در اسپروس پاین (Spruce Pine)، کارولینای شمالی فعالیت میکنند، و همچنین از شرکت روسیان کوارتز (Russian Quartz LLC) که میتواند حجمهای متوسطی تولید کند، قابل تهیه است.
شرکت پاسیفیک کوارتز (Pacific Quartz) از سالهای ۲۰۱۹ تا ۲۰۲۰، مواد مصرفی کوارتز با خلوص فوقالعاده بالا مانند لولههای نفوذ LPCVD، قایقهای ویفر، شمشهای کوارتز، صفحات کوارتز و لولههای کوارتز با خلوص بالا را به لم ریسرچ (Lam Research) و توکیو الکترون (Tokyo Electron) عرضه کرده است. معمولاً کوارتز مورد استفاده برای تجهیزات پردازش دارای خلوص 4N5 - 5N (حدود 99.995 تا 99.999 درصد SiO₂) است. بنابراین محصولات پاسیفیک کوارتز (Pacific Quartz) برای ابزارهای نیمههادی به اندازه کافی خوب هستند.
اخیراً، پاسیفیک کوارتز (Pacific Quartz) اعلام کرد محصولات کوارتز تولید شده از ماسه با خلوص بالای خودشان، واجد شرایط در یک سازنده پیشرو حافظه DRAM چینی، ظاهراً CXMT، برای استفاده در تولید ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری شدهاند. این امر به ویژه قابل توجه است زیرا زنجیره تأمین عمدتاً داخلی برای کوارتز چینی را نشان میدهد که با ماسه تصفیه شده با خلوص بالای پاسیفیک کوارتز آغاز میشود و سپس به ماده لوله کوره نیمههادی تبدیل میشود که به یک کارخانه ساخت ویفر (Fab) میرود. در حالی که CXMT مطمئناً از تجهیزات لم ریسرچ (Lam Research) و توکیو الکترون (Tokyo Electron) استفاده میکند، نمیتوانیم با قطعیت بگوییم که تمام مواد مصرفی کوارتز مورد استفاده این ابزارها توسط پاسیفیک کوارتز (Pacific Quartz) ساخته شدهاند.
لولههای کوره نیمههادی معمولاً از کوارتز ذوبشده با خلوص بالای رده 5N ساخته میشوند، با محدودیتهای سختگیرانه روی آلایندههای فعال الکتریکی و متحرک، زیرا آنها میتوانند به ویفرهای سیلیکونی داغ مهاجرت کرده یا درون آنها نفوذ کنند و مشخصات ترانزیستور را تغییر دهند که در نهایت منجر به ایجاد نقص و کاهش بازدهی میشود.
در حالی که شرکت چینی پاسیفیک کوارتز (Pacific Quartz) میتواند قطعاتی برای تجهیزات تولید نیمههادی تولید کند، اما همچنان نمیتواند بوتههایی با کیفیت به اندازه کافی خوب برای رشد ویفرهای سیلیکونی با خلوص 9N تا 11N تولید کند. آیا این وضعیت در آینده قابل پیشبینی تغییر خواهد کرد؟ فقط زمان پاسخ خواهد داد.
منبع: tomshardware.com